半導(dǎo)體電子廢氣排放，硫酸霧、氨氣等酸堿氣體在線監(jiān)測解決方案

更新時間：2023-02-27 | 點擊率：1257

半導(dǎo)體電子廢氣排放，硫酸霧、氨氣等

酸堿氣體在線監(jiān)測解決方案

一、概述

隨著信息化時代的到來，半導(dǎo)體行業(yè)也在迅速發(fā)展，半導(dǎo)體廠給社會帶來的經(jīng)濟效益及就業(yè)率有目共睹的，但隨之而來的還有對大氣的污染。由于半導(dǎo)體行業(yè)對操作室清潔度要求ji高，通常使用風機抽取工藝過程中揮發(fā)的各類廢氣，因此半導(dǎo)體行業(yè)廢氣排放具有排氣量大、排放濃度小的特點。

主要成分：半導(dǎo)體行業(yè)廢氣主要為有機廢氣和酸堿廢氣兩類。有機類有：非甲烷總烴、氮氧化物、二氧化硫等；酸堿類有：氨氣、硫酸霧、氟化物、氯化物、氯氣等。

主要來源：在半導(dǎo)體行業(yè)中造成環(huán)境污染的有害氣體，主要來源于芯片或者是線路板生產(chǎn)的清洗、均膠、去膠、刻蝕、顯影過程中。

主要危害：半導(dǎo)體行業(yè)主要是元器件組裝焊接過程中對大氣的污染和電路板等器件清洗等表面處理過程中因使用一些化學(xué)藥劑（如硫酸、鹽酸、氟氯化碳、四氯化碳、三氯乙烷及其他有機鹵化物）揮發(fā)造成對大氣環(huán)境的污染，以及整機裝配過程中產(chǎn)生的機械噪聲和少量粉塵也會造成環(huán)境污染，這些污染氣體會造成人群慢性或急性中毒。

廢氣檢測解決方案是通過集成廢氣檢測系統(tǒng)對廢氣濃度等參數(shù)實時采集和精準檢測，達到超標排放快速預(yù)警預(yù)報，同時結(jié)合網(wǎng)格化管理，實現(xiàn)企業(yè)廢氣檢測與監(jiān)管高效聯(lián)動。廢氣在線監(jiān)測系統(tǒng)，廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體制造、涂裝流水線、生物制藥、化工企業(yè)廢氣處理等。廢氣在線監(jiān)測項目主要有：非甲烷總烴監(jiān)測、砷烷監(jiān)測、酸霧、硫化物、NOX、顆粒物監(jiān)測、氨氣監(jiān)測等。

二、檢測原理

2.1 PID光離子檢測方法

光離子氣體傳感器(PID)采用光離子電離氣體原理進行氣體檢測，PID固定源揮發(fā)性有機氣體監(jiān)測系統(tǒng)適用于混合氣體中揮發(fā)性有機物總含量的測定。對于呼吸閥、儲罐呼吸孔等有機廢氣工藝排口采用此方法進行監(jiān)測。

2.2 電化學(xué)檢測方法

電化學(xué)傳感器通過與被測氣體發(fā)生反應(yīng)并產(chǎn)生與氣體濃度成正比的電信號來工作。典型的電化學(xué)傳感器由傳感電極(或工作電極)和反電極組成，并由一個薄電解層隔開。氣體首先通過微小的毛管型開孔與傳感器發(fā)生反應(yīng)，然后是疏水屏障層，最終到達電極表面。采用這種方法可以允許適量氣體與傳感電極發(fā)生反應(yīng)，以形成充分的電信號，同時防止電解質(zhì)漏出傳感器。無機物類型包括了HCL、CL2、NH3、CS2、H2S、丙烯晴等傳感器，對于焚燒爐、車間、實驗室、呼吸閥等工藝和非工藝排口將采用電化學(xué)監(jiān)測系統(tǒng)進行監(jiān)測。

三、設(shè)備選型

工藝排口的有機廢氣排口(包括VOC治理排口)監(jiān)測中存在有機污染物安裝PID在線監(jiān)測設(shè)備，無機廢氣排口安裝煙氣在線監(jiān)測設(shè)備；非工藝排口如呼吸閥、實驗室排放口、儲罐呼吸孔等安裝電化學(xué)傳感器監(jiān)測設(shè)備。

四、執(zhí)行標準

GB3836.1-2010《爆炸性氣體環(huán)境用電氣設(shè)備第一部分：通用要求》

GB3836.2-2010《爆炸性氣體環(huán)境用電氣設(shè)備第二部分：隔爆型“d" 》

GB 3836.15-2000 《爆炸性氣體環(huán)境用電氣設(shè)備第 15 部分：危險場所電氣安裝( 煤礦除外) 》

GBT50493-2019 《石油化工可燃氣體和有毒氣體檢測報警設(shè)計標準》

GB12358-2006 《作業(yè)場所環(huán)境氣體檢測報警儀通用技術(shù)要求》

GBZ/T 223-2009《工作場所有毒氣體檢測報警裝置設(shè)置規(guī)范》

GBZ 2.1-2007 《工作場所有害因素職業(yè)接觸限值》

GB 4208-2008 《外殼防護等級（IP 代碼）》

GB 16297－1996《大氣污染物綜合排放標準》

GB/T 16157-1996《固定污染源排氣中顆粒物測定與氣態(tài)污染物采樣方法》

HJ/T 76-2017《固定污染源排放煙氣連續(xù)監(jiān)測系統(tǒng)技術(shù)要求及檢測方法》

HG/T 20507-2014 《自動化儀表選型設(shè)計規(guī)范》

五、廢氣在線監(jiān)測系統(tǒng)組成

采樣系統(tǒng)：采樣管、伴熱管、取樣探頭

預(yù)處理系統(tǒng)：采樣單元、過濾單元、反吹單元、加熱單元

控制系統(tǒng)及軟件：上位機工控系統(tǒng)、系統(tǒng)控制軟件、數(shù)采儀，可與環(huán)保局聯(lián)網(wǎng)

輔助監(jiān)測：氣象參數(shù)，包括溫度、壓力、流量、濕度和顆粒物監(jiān)測

標定系統(tǒng)：標準氣體

六、廢氣在線監(jiān)測系統(tǒng)特點

6.1 標準化設(shè)計

6.2 結(jié)構(gòu)設(shè)計合理，可實現(xiàn)連續(xù)自動監(jiān)測

6.3 運行穩(wěn)定安全，數(shù)據(jù)真實可靠。（根據(jù)現(xiàn)場工況，采樣管線選用聚四氟乙烯、硼硅酸鹽玻璃或耐腐蝕、惰性化等材質(zhì)，減少管路吸附造成的損失。并采取管路保溫伴熱，有效防止全程采樣及預(yù)處理過程中易溶組分因冷凝而造成的丟失，避免高沸點烴類物質(zhì)冷凝“積油"及部件腐蝕。）（設(shè)備的穩(wěn)定性和故障率小，降低維護人員工作維護強度，提高環(huán)保數(shù)據(jù)檢測平臺的連續(xù)性，降低故障排出時間，從而保證環(huán)保監(jiān)測準確性和有效時間，降低考核風險。）

6.4 精度高，量程范圍廣，適應(yīng)多種量程需求

七、產(chǎn)品參數(shù)

檢測設(shè)備	酸霧、硫化物、氮氧化物、氨氣等廢氣在線監(jiān)測系統(tǒng)
型號代碼	SK-7500-FG-JY			SK-7500-FG-Y		SK-7500-FG-BY		SK-7500-FG-SSY
顯示方式	LCD/7寸液晶顯示屏
使用環(huán)境	溫度：0～60℃ 濕度：0-100%RH 正壓、負壓、微量粉塵無腐蝕性氣體其它工況可定制		溫度：0～200℃ 濕度：0-100%RH 正壓、負壓、微量粉塵無腐蝕性氣體其它工況可定制			溫度：0～200℃ 濕度：0-100%RH 正壓、負壓、含粉塵無腐蝕性氣體其它工況可定制	溫度：0～200℃ 濕度：0-100%RH 正壓、負壓、含粉塵、腐蝕性氣體其它工況可定制
輸出信號	①4-20mA信號：標準的12位精度4-20mA輸出芯片，傳輸距離1000m； ②RS485信號：采用標準MODBUS RTU協(xié)議，傳輸距離1200m； ③電壓信號：0.4-2V,0-5V、0-10V輸出，選配（電壓輸出與電流輸出二選一）； ④開關(guān)量信號：標配1組無源觸點繼電器，容量220VAC 3A/24VDC 3A（選配）； ⑤GPRS、4G、WIFI、LORA、ZigBee等無線信號。（選配）
接收設(shè)備	用戶電腦、控制報警器、PLC、DCS、DDC等。
工作方式	固定泵吸式
檢測介質(zhì)	可燃氣體、酸霧、丙烯晴、非甲烷總烴、SO2、H2S等硫化物、顆粒物、NOX、HCN、HCL、CL2、NH3、CS2等?？啥ㄖ?/span>
檢測原理	催化燃燒/電化學(xué)/熱導(dǎo)/紅外NDIR/PID光離子
檢測范圍	0-100%LEL；0-5/10/100/500/1000ppm、mg/m3；0-10%/30%/50%/100%VOL（可定制）
分辨率	0.001/0.01/0.1/1（根據(jù)量程而定）
檢測誤差	≤±3%F.S 更高精度可訂制
重復(fù) 性	≤±1%
線性誤差	≤±1%
響應(yīng)時間（T90）	T90≤30S
工作電壓	DC24V（12V～30V）
工作溫度	-20℃～60℃
工作濕度	0-100%RH
工作壓力	負壓、正壓均可
傳感器壽命	2～3年（根據(jù)傳感器原理與使用的環(huán)境而定）
防爆形式	箱體不防爆（可定制防爆款）
防爆等級	Ex d IBT6 Gb/Ex d IIC T6 Gb/Ex tD A21 IP66 T80C
防護等級	IP66
連接電纜	①4～20mA 選三芯屏蔽電纜，RS485 選四芯，距離超 1000 米（帶一臺檢測儀）時單根線徑≥1.5mm，屏蔽層接大地。 ②無線傳輸：可內(nèi)置LORA、Zigbeg模塊，近距離無線傳輸；可外置GPRS/4G模塊，遠程數(shù)據(jù)傳輸?shù)皆破脚_，可電腦端和手機端查看歷史記錄，不受距離限制（選配）
報警方式	現(xiàn)場聲光報警、外置報警器、遠程控制器報警、電腦數(shù)據(jù)采集軟件報警等。
報警設(shè)置	標準配置兩級報警；可設(shè)置報警方式：常規(guī)高低報警、區(qū)間控制報警。
外形尺寸	400500200mm （LHW）	500760250mm （LHW）			根據(jù)工況配置
計量證	可選，費用客戶自付
附件	包裝箱、說明書、合格證、出貨單各一份
選配附件	常溫高濕預(yù)處理系統(tǒng)、高溫常濕預(yù)處理系統(tǒng)、高溫高濕度預(yù)處理系統(tǒng)、高溫高濕高粉塵預(yù)處理系統(tǒng)、減壓閥、流量計、溫濕度測量、24VDC 或 220AC 采樣泵（采樣距離 10 米）、真空泵（采樣距離大于 40 米）、24V 開關(guān)電源、220V轉(zhuǎn)24V電源適配器。電腦監(jiān)控配件：免費上位機軟件、USB 轉(zhuǎn) RS485 轉(zhuǎn)換連接線，如果要網(wǎng)絡(luò)傳輸還需 RS485 轉(zhuǎn)網(wǎng)口轉(zhuǎn)換器。